»밀페형의 방진구조 »상자형구조의 Base설계로 고강성 실현 »최고속도 1,000mm/s로 고속화 실현 »반복위치정밀도 ±0.02mm로 고정도 실현 »이재용, Palletizing, Sealing, 반도체검사 장비등에 적용가능 »Base폭 70mm